EBSD基础
主要系统组件
EBSD探测器主要由以下部分组成：
一个用来显示样品背散射电子衍射花样的荧光屏。
一个用于捕捉在荧光屏显示的衍射花样的高敏感电荷藕合 (CCD)相机及光学系统。
一个装在荧光屏后用于屏蔽射线的铅玻璃窗。
允许在大气压下操控CCD相机而不用降低腔体气压的真空密封装置
允许EBSD探测器在任意位置停留、缩回，以便探头不会对正常的SEM工作产生干扰的移动控制装置。
一个用于在相应扫描电镜窗口上安装探测器的接口。
控制EBSD分析过程，包括采集和分析衍射花样、显示结果以及做进一步处理的计算机。
固定在荧光屏上的FSD探头（选配）
控制SEM扫描过程的硬件系统
控制SEM样品台和镜筒的通讯控制系统
衍射花样的形成
在EBSD测试中，扫描电子显微镜（SEM）电子束入射到倾斜70°度的晶体样品表面。（图 2）
EBSD衍射花样获得的基本原理非常复杂，这里简要介绍了它的一些主要的工作原理。入射电子束与样品表面原子碰撞发生弹性散射，伴随着一小部分能量损失，从而形成了一个电子发散源。而其中一些电子于原子面入射角度满足布拉格方程
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（公式1）
其中，n是整数，λ是电子波长，d是衍射面间距，θ是电子入射方向与衍射面之间的夹角。这些电子发生衍射形成了与每一个衍射面相对应的一系列成对出现的大角度锥面。在荧光屏上进行成像时，这些经过信号放大的锥面间电子强度区域形成了电子背散射衍射花样—菊池带花样（Kikuchi band）。
图2：电子背散射衍射花样的形成。从不同散射源散射出的电子在满足布拉格条件下
入射到晶面形成了一对衍射锥，进而产生了菊池带衍射花样。
图3：镍在20KV加速电压下形成的衍射花样。
